膜厚儀標(biāo)準(zhǔn)片用于測厚儀在測金屬鍍層厚度的時(shí)候進(jìn)行的標(biāo)準(zhǔn)化校準(zhǔn),這樣使用使得測厚儀所測的誤差值變小,對于半導(dǎo)體生產(chǎn)行業(yè),電鍍行業(yè)使用測厚儀所造成的成本檢測起到了很重要的作用。標(biāo)準(zhǔn)片一般分為單鍍層片,雙鍍層片、多鍍層片、合金鍍層片、化學(xué)鍍層片。接下來和奧譜瑪一起了解。
膜厚儀標(biāo)準(zhǔn)片的兩大作用:
1、用來對膜厚儀工作狀態(tài)的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性進(jìn)行校驗(yàn)。在膜厚儀測試過程中對膜厚儀運(yùn)行過程中,確認(rèn)工作狀態(tài)。防止膜厚儀故障狀態(tài)時(shí)能時(shí)間確認(rèn)。
2、用于X射線測厚儀(膜厚儀)在測金屬鍍層厚度時(shí)進(jìn)行的標(biāo)準(zhǔn)化校準(zhǔn)及建立測試檔案。也就是我們在膜厚測試中常用的標(biāo)準(zhǔn)曲線法,是測量已知厚度或組成的標(biāo)準(zhǔn)樣品,根據(jù)熒光X-射線的能量強(qiáng)度及相應(yīng)鍍層厚度的對應(yīng)關(guān)系,來得到標(biāo)準(zhǔn)曲線。之后以此標(biāo)準(zhǔn)曲線來測量未知樣品,以得到鍍層厚度或組成比率。對于PCB、五金電鍍和半導(dǎo)體等行業(yè)使用測厚儀來檢測品質(zhì)和控制成本起到了很重要的作用。
膜厚儀標(biāo)準(zhǔn)片的使用和選擇:
厚度由X射線吸收方法或比率方法確定,則厚度標(biāo)準(zhǔn)塊的基體應(yīng)與被測試樣的基體具有相同的X射線發(fā)射特性,通過比較被測試樣與校正參考標(biāo)準(zhǔn)塊的未鍍基體所選的特征輻射的強(qiáng)度,然后通過軟件達(dá)到對儀器的校正。
可用標(biāo)準(zhǔn)塊的單位面積厚度單位校準(zhǔn)儀器,厚度值必須伴隨著覆蓋層材料的密度來校正。標(biāo)準(zhǔn)片應(yīng)與被測試樣具有相同的覆蓋層和基體材料,但對試樣基材為合金成分的,有些儀器軟件允許標(biāo)樣基材可與被測試樣基材不同,但前提是標(biāo)準(zhǔn)塊基體材料與試樣基材中的主元素相同。
膜厚儀標(biāo)準(zhǔn)片在使用時(shí)選擇適當(dāng)?shù)臉?biāo)準(zhǔn)厚度塊對儀器進(jìn)行示值校正,選擇一塊合適和一塊為儀器測量上限1/2的標(biāo)準(zhǔn)厚度塊作儀器高低兩端的示值校正。測量范圍分為若干檔的儀器,其示值校正應(yīng)在每檔分別進(jìn)行。
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